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软体机器人科技 AG126S 机器人核心零部件与软件
产品介绍
面向半导体生产制程中各类设备的晶圆校准环节,可应对 6"~ 12" 的常规或透明半 透明晶圆。
SRT AG126S，晶圆预对准器 Aligner。产品结构：真空吸附式；传感器种类：线性传感器；晶圆规格：6"-8"-12"；位置确定所需时间：3s(不包含晶圆上下料时间)；位置精度：晶圆中心:±0.1mm 以内,槽口定位:±0.1°以内。
规格参数
| 型号 | AG126S |
|---|---|
| 产品结构 | 真空吸附式 |
| 传感器种类 | 线性传感器 |
| 晶圆规格 | 6"-8"-12" |
| 位置确定所需时间 | 3s(不包含晶圆上下料时间) |
| 位置精度 | 晶圆中心:±0.1mm 以内,槽口定位:±0.1°以内 |
| 工作范围 | ±7mm |
| 晶圆保持方式 | 背面真空吸附 |
| 晶圆保持确认 | 附带数字显示真空传感器 |
| 控制通讯方式 | RS232/RS485/TCP/IP |
| 电源 | DC24V 2A |
| 负压 | ≤ -53Kpa |
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